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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>顯示及光電>光刻光束線快門實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)及其快速光電轉(zhuǎn)換

光刻光束線快門實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)及其快速光電轉(zhuǎn)換

2010-12-13 | rar | 113 | 次下載 | 5積分

資料介紹

本文闡述了光刻光束線中的快門光柵系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)和工作原理. 井介紹了光電轉(zhuǎn)換中的一種新方怯—高阻甚,該方法在快速弱光信號(hào)檢測(cè)中具有實(shí)際意義。
光刻光束線的基本原理,是從加速器貯存環(huán)中的一個(gè)窗口引出同步幅射光子流, 取其軟X射線部分作為大豌集成電路的光刻光源, 這就要求;
2.1.具備快門控期系統(tǒng), 用于控捌爆光時(shí)間。
2.2.具備鏡掃描功能, 以便將光柬線作均勻展寬, 取而實(shí)現(xiàn)較大面積的均勻光刻。

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