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基于第三代半導體的發(fā)展紫外LED要做弄潮兒

2017-11-10 | rar | 0.4 MB | 次下載 | 1積分

資料介紹

第三代半導體材料主要包括氮化鎵(Gallium Nitride,GaN)、碳化硅(Silicon Carbide, SiC)、氧化鋅(Zinc Oxide, ZnO)、氮化鋁(Aluminum Nitride, AlN)和金剛石等寬禁帶半導體材料。與硅(Silicon, Si)、GaAs等半導體材料相比,第三代半導體材料禁帶寬度大,具有擊穿電場高、熱導率高、電子飽和速率高等優(yōu)越性質(zhì)。其中氮化物材料是第三代半導體材料中最引人矚目的材料,尤其是GaN(氮化鎵)基光電子器件在白光照明領(lǐng)域非常成功。然而藍光LED(發(fā)光二極管)的技術(shù)專利受制于歐美日等從事該行業(yè)較早的國家。因此處于發(fā)展初期的基于AlGaN(鋁鎵氮)材料的紫外LED成為突破專利壟斷的最佳領(lǐng)域。另外,紫外LED也是目前氮化物技術(shù)發(fā)展和第三代材料技術(shù)發(fā)展的主要趨勢,擁有廣闊的應用前景。
  目前全球紫外光源市場規(guī)模約為4億2700萬美元,不過傳統(tǒng)紫外汞燈仍然占據(jù)市場主導地位。和汞燈相比,近年發(fā)展迅速的紫外光LED光源,被公認具有8大優(yōu)勢。一是體積小,在便攜式、高集成度產(chǎn)品方面有巨大潛力。二是堅固耐用,LED比石英玻璃外殼的汞燈耐沖擊,不易發(fā)生破損。三是能源效率高,與汞燈相比,紫外光LED能量消耗最多可以低70%。四是環(huán)保,紫外LED不含有害物質(zhì)汞,通過ROHS認證。五是工作電壓低,紫外LED工作電壓僅3-5伏左右,和高壓汞燈相比,既提高了安全性,也降低了驅(qū)動電路成本。六是功率更易調(diào)節(jié)。七是散熱系統(tǒng)要求低,進一步降低系統(tǒng)成本。八是光學系統(tǒng)簡單,更符合實際應用需要,紫外LED不需要外加透鏡就能得到緊湊的光束角和均勻的光束圖,從而降低成本,增強系統(tǒng)可靠性。正因為這些優(yōu)勢,紫外LED技術(shù)正在成為固態(tài)紫外光源行業(yè)極具吸引力的選擇方案。
  同時,與傳統(tǒng)紫外光源汞蒸汽燈、準分子激光器相比,固態(tài)紫外光源具有小巧便攜、綠色環(huán)保、波長易調(diào)諧、電壓低、功耗小、可集成等諸多優(yōu)點,隨著技術(shù)的不斷進步,必將成為未來紫外光源的主流。在信息光存儲中,數(shù)據(jù)密度由讀寫的光源波長決定。深紫外激光二極管由于極短的波長,相比于基于藍光激光器的藍光存儲(blue-ray)技術(shù),有望可將信息容量提升數(shù)十倍。在生化分析中,大多數(shù)生物分子含有的化學鍵在紫外光波段(270-350nm )有很強的光學共振,小型高效的紫外光源可以為生物探測和光電子學之間提供橋梁,使生物光子學的應用成為可能,例如基于熒光的bioagent識別等;光學檢測也是研究蛋白質(zhì)結(jié)構(gòu)極為有效的方法,光學激發(fā)色氨酸和酪氨酸這兩種極為重要的氨基酸需要275 nm 紫外光源。深紫外LED 是理想的新一代光源,市場潛力巨大,同時對智能制造和提升人民生活品質(zhì)也將起到重要作用。
  為了加快國內(nèi)第三代半導體固態(tài)紫外光源的發(fā)展,國家科技部實施了重點研發(fā)計劃專項,開展第三代半導體固態(tài)紫外光源材料及器件關(guān)鍵技術(shù)的研究工作。該項目由中國科學院半導體研究所牽頭,集結(jié)了國內(nèi)第三代半導體固態(tài)紫外光源領(lǐng)域的優(yōu)勢研究院所、高校及行業(yè)龍頭和應用企業(yè),集中專業(yè)技術(shù)力量對固態(tài)紫外光源進行技術(shù)攻關(guān),以期在5-10年內(nèi)追趕國際先進水平,同時盡快實現(xiàn)第三代半導體固態(tài)紫外光源的市場化應用,以市場促發(fā)展,帶動國內(nèi)第三代半導體固態(tài)紫外光源相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
  中科院半導體所是國內(nèi)最早開展氮化物材料研究的單位之一,承擔并出色完成了多項國家重大研究任務。項目負責人“十一五”期間承擔國家 863 前沿探索類課題“紫外 LED 用AlGaN材料生長研究”,實現(xiàn)了國內(nèi)首個波長短于 300nm 的深紫外 LED 器件毫瓦級光功率輸出,研究成果成為“十一五”863 計劃新材料領(lǐng)域研究亮點,并獲得“十一五”二期國家專項的進一步支持,承擔 863 課題“深紫外 LED 制備和應用技術(shù)研究”,在基于AlN模板的 MOCVD 外延技術(shù)等方面取得了一系列成果,將深紫外 LED 性能提升近一倍。“十二五”承擔國家 863 課題“深紫外 LED 外延生長及應用技術(shù)研究”,成果經(jīng)專家組鑒定達到國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進水平。目前承擔 863 課題“高鋁組分氮化物材料制備技術(shù)研究”,國內(nèi)首次實現(xiàn)室溫近紫外 377nm 和深紫外 288nm 半導體激光器光泵浦激射。
  本項目與以前的深紫外 LED 研究課題一脈相承,并由前期的前沿技術(shù)探索階段轉(zhuǎn)向共性關(guān)鍵技術(shù)突破階段。半導體所材料和器件綜合指標一直保持國內(nèi)最好水平,高 Al組分材料質(zhì)量位于國際最好水平;研發(fā)出國內(nèi)第一支深紫外毫瓦級 LED 并始終保持效率領(lǐng)先;國內(nèi)首次實現(xiàn)了GaN基藍光激光器,首次實現(xiàn)室溫近紫外 377nm 和深紫外 288nm的激光器光泵浦激射,保持著紫光激光器的領(lǐng)先優(yōu)勢;相關(guān)成果獲得“國家技術(shù)發(fā)明二等獎”1 項,“國家科技進步二等獎”1 項,“北京市科技進步一等獎”1 項。為項目的順利實施提供了堅實的技術(shù)保障。
  研究機構(gòu)Yole Development于2015年2月發(fā)布了最新的市場研究報告,市場在2015年之后將打破平靜開始加速增長,在2018年將出現(xiàn)跨越式地增長,同時該機構(gòu)認為驅(qū)動產(chǎn)業(yè)第一輪增長的主要因素是始于2012年的光固化應用,UV-LED取代汞燈的大趨勢是這一輪增長的主要動力,而殺菌消毒及凈化領(lǐng)域的應用將成為產(chǎn)業(yè)增長的第二輪驅(qū)動力,這一輪增長將從2017年開始。在不遠的將來,光催化、殺菌消毒都有可能成長為數(shù)百億級的市場,而用于治療皮膚病的光療則可能讓UV-LED的應用系統(tǒng)成為千億級的市場。
  結(jié)合國際上半導體紫外固態(tài)光源研究的主要發(fā)展趨勢,通過本項目的實施,依托我們的既有工作基礎(chǔ)和優(yōu)勢,系統(tǒng)開展AlGaN基深紫外LED結(jié)構(gòu)的外延生長、器件制備及封裝工藝的研究。本項目科學意義在于從國家經(jīng)濟、社會發(fā)展和國防安全對第三代半導體固態(tài)紫外光源材料及器件的重大需求出發(fā),建立相關(guān)的高Al組分材料機理理論和原始技術(shù)創(chuàng)新體系,攻克一系列相關(guān)的關(guān)鍵技術(shù),獲得高質(zhì)量材料,研制出高性能器件,開發(fā)相關(guān)產(chǎn)品并開展應用示范。同時培育和凝聚一支具有國際水平的研究隊伍,為 III 族氮化物半導體紫外LED在面向空氣和水凈化、其它殺菌領(lǐng)域等方面的重大應用奠定重要的科學基礎(chǔ),并為國家安全和促進相關(guān)高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出貢獻。
  具體來看,首先可以促進國內(nèi)固態(tài)紫外光源制造裝備的發(fā)展。目前國內(nèi)外均沒有成熟的紫外光源制造的商業(yè)生長設(shè)備,可以說,大家處在同一個起跑線上,任何一個技術(shù)的突破都會帶來產(chǎn)業(yè)的巨大發(fā)展。通過發(fā)展高溫MOCVD裝備制造技術(shù),可以帶動國內(nèi)基礎(chǔ)制造業(yè)的發(fā)展。
  其次可以促進國內(nèi)材料、芯片等上游企業(yè)的發(fā)展。目前,藍光LED上游企業(yè)已處于飽和狀態(tài),通過紫外光源的發(fā)展,可以促進上游LED企業(yè)的轉(zhuǎn)型和升級,帶動國內(nèi)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
  最后通過應用產(chǎn)品開發(fā),可以促進國內(nèi)封裝、應用等下游應用企業(yè)的發(fā)展。利用紫外LED的殺菌功效,就可以在白色家電產(chǎn)品中廣泛應用,例如冰箱、空調(diào)、洗衣機、空氣凈化器、飲水機等等都會采用紫外LED來殺菌消毒,這些產(chǎn)品中的殺菌功能將會成為產(chǎn)品的標配功能。僅中國的冰箱、空調(diào)、洗衣機、空氣凈化器、飲水機等產(chǎn)品,每種產(chǎn)品每年的產(chǎn)銷量就達到幾千萬、甚至上億臺。據(jù)統(tǒng)計,2013年我國冰箱、洗衣機、空調(diào)、空氣凈化器、飲水機的總產(chǎn)量為30,486萬臺。如果在這些產(chǎn)品中都使用紫外LED燈進行殺菌消毒,將會是一個廣闊的應用市場,這些原有市場的替代和新市場應用的產(chǎn)生必將極大提高人民的生活水平,為任何時候任何地點提供清潔的空氣,清潔的水,改善生活環(huán)境讓更多的人享有健康。同時LED的長產(chǎn)業(yè)鏈和人才技術(shù)密集特點也將產(chǎn)生成千上萬的就業(yè)機會,對社會產(chǎn)生積極影響,獲得良好的社會效益。
  “第三代半導體固態(tài)紫外光源材料及器件關(guān)鍵技術(shù)”重點研發(fā)計劃專項的實施,是國家科技體制改革的重要變化之一,通過集中國內(nèi)最優(yōu)勢的團隊進行技術(shù)攻關(guān),重點突出,以點帶面,全面促進國內(nèi)科技創(chuàng)新和技術(shù)突破。
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