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用脈沖激光(Nd:YAG 激光)沉積技術在硅基上沉積富硅SiO2薄膜(SiOx,x<2)，沉積時氧氣壓力分別為1.33，2.66，3.99，5.32，6.65，7.98Pa，膜的厚度約為300nm。隨后，在氬(Ar)氣中1000℃的溫度下對沉積的SiOx薄膜進行熱退火處理30min，使在SiO2薄膜中生長出硅納米晶。用光譜分析儀分析其在室溫下的光致發光(PL)光譜時發現，隨著沉積氧氣壓力的增強，峰值波長在減小(即藍移),表明納米晶硅顆粒在減??；同時，在本研究中的制作條件下，PL強度與沉積氧氣壓力有較強的依存關系，在2.66-3.99Pa的氧氣壓力條件下沉積制作的試樣，得到最大的PL強度。
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