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The da380 sensor is the low power high performance capacitive three-axis linear accelerometer developed by micro-machined technology. The device is available in a 3x3x0.9 mm land grid array (LGA) and it is guaranteed to operate over an extended temperature range from -40°C to +85°C. The sensor element is fabricated by single crystal silicon with DRIE process and is protected by hermetically sealed silicon cap from the environment.
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