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電子發燒友網>電子資料下載>電子教材>半導體光刻工藝培訓資料

半導體光刻工藝培訓資料

2016-06-08 | pdf | 2292KB | 次下載 | 5積分

資料介紹

光刻的本質是把制作在掩膜版上的圖形復制到以 后要進行刻蝕和離子注入的晶圓上。其原理與照相 相似,不同的是半導體晶圓與光刻膠代替了照相底 片與感光涂層。
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