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電子發燒友網>電子資料下載>電子教材>薄膜技術_王力衡 1991

薄膜技術_王力衡 1991

2016-12-14 | pdf | 7060KB | 次下載 | 免費

資料介紹

薄膜是一種物質形態,清華田民波在《材料學概論》一書的第十三講,說的就是薄膜技術及薄膜制備技術。成膜技術及薄膜產品工業上,特別是電子工業鄰域有及其重要的地位,在半導體集成電路電阻器電容器、激光器、磁帶等都用薄膜技術。這本就是專門介紹成膜技術及薄膜的電、光學機械、磁性性能的一本教程。理論嚴謹,對于研究材料工程方向的同學很有幫助。
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