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電子發燒友網>電子資料下載>電子教材>CMOS工藝流程的詳細資料講解

CMOS工藝流程的詳細資料講解

2020-06-02 | pdf | 4.63 MB | 次下載 | 5積分

資料介紹

  CMOS 工藝流程介紹

  1.襯底選擇:選擇合適的襯底,或者外延片,本流程是帶外延的襯底;

  2. 開始:Pad oxide 氧化,如果直接淀積氮化硅,氮化硅對襯底應力過大,容易出問題;

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