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圖 2 單片式電容傳感器平面結(jié)構(gòu)圖為了滿足傳感器具有較大的初始電容和較高的靈敏度 ，又要保證傳感器單方向尺寸不能過大 ，綜合幾方面因素 ，將單片式電容傳感器設(shè)計(jì)成鏢盤狀結(jié)構(gòu)。單片式電容傳感器的結(jié)構(gòu)如圖 2所示。圖中相連的三個(gè)弧狀金屬板構(gòu)成電容的一個(gè)極板 ，另外相連的三個(gè)弧狀金屬板構(gòu)成電容的另一個(gè)極板。兩個(gè)極板在同一個(gè)平面內(nèi) ，平面的上方構(gòu)成了工作區(qū)間、這種單片式電容傳感器利用了電容的邊緣效應(yīng)進(jìn)行工作。當(dāng)被測薄膜貼近傳感器表面時(shí) ，則改變了工作區(qū)間的介電常數(shù) ，從而改變了電容量 ，就能夠檢測出被測薄膜的厚度值。實(shí)際應(yīng)用中傳感器的各極板應(yīng)該用厚度為011mm的鈦板制造 ，并且粘附在一塊溫度系數(shù)很小的非金屬材料上 ，在非金屬材料的另一個(gè)表面上附上一層同樣厚度的鈦 ，形成一個(gè)保護(hù)極板。此極板接地 ，以抵抗外部電磁干擾 ，這就是三極板單片式電容傳感器。它是對于雙平行
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