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電子發燒友網>電子資料下載>機械電子>磷吸雜工藝研究

磷吸雜工藝研究

2009-03-07 | rar | 211 | 次下載 | 10積分

資料介紹

磷吸雜在晶體管芯片制造過程中對改善芯片表面態堯減少漏電流等起著重要作用,文中確定了方塊電阻為6-8贅/陰淵歐姆/方塊冤的磷吸雜工藝條件,并對過程的相關影響因素進行分析和探討,同時提出了解決方法。
關鍵詞 磷吸雜 晶體管 芯片制造 工藝
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