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針對麥克風產品開發成本過高問題，對麥克風的制造工藝進行了研究，提出了一種用仿真代替實驗的方法，利用IntelliSuite軟件中的Blueprint設計麥克風制作過程巾所使用的掩膜版圖，再利用IntelliSuite軟件中IntelliFah模塊對器件進行了微電容式麥克風的工藝流程仿真，仿真出麥克風器件，再利用IntelliSuite軟件中的3D BUILDER，TEM兩個子模塊，仿真得到了微機械電容式麥克風的靈敏度、吸合電壓以及固有頻率等參數，該仿真過程得到的相關參數能夠為微機械電容式麥克風性能的佐證提供參考，并指導學者對微電容式麥克風產品的開發與設計過程。分析結果表明，此過程能夠代替實際的開發的制造過程，達到節約產品開發成本的目的。
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