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電子發(fā)燒友網>電子資料下載>IC datasheet pdf>HVM中用于光刻的EUV源:歷史和前景

HVM中用于光刻的EUV源:歷史和前景

2022-06-13 | pdf | 5.52 MB | 次下載 | 5積分

資料介紹

HVM中的EUV光刻
?
?背景和歷史
?
?使用NXE的EUV光刻:3400B
?
?EUV生成原理
?
?EUV來源:架構
?
?現場EUV源
?
?電源展望
?
?總結
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