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核電站內部大氣環境中的天然放射性氣溶膠通常情況下濃度很低且處于平衡狀態，但出現嚴重核事故時，核電站一回路承壓邊界完整性被破壞出現泄漏，將導致人工放射性氣溶膠在熱壓動力作用下迅速釋放到核電站內部環境大氣中造成其放射性氣溶膠濃度顯著升高，如果將此類放射性氣溶膠直接排放到大氣中將嚴重危害大氣環境。目前核電站使用的過濾器主要有高效過濾器、活性炭過濾器、文丘里洗滌器，砂堆過濾器幾種，雖然能對放射性氣溶膠進行一定的過濾和收集，但存在需要高放射性條件下更換濾紙、產生二次放射性液態或固態廢物等缺點㈣。本文設計、研究了一個微流體慣性沖擊式氣溶膠過濾器（簡稱MEMS過濾器），能夠收集微米尺寸的顆粒，且彌補上述不足。微機電系統（MEMS）是微型設備技術，微型器件有很多潛在好處，例如性能高、功耗低、反應靈敏、成本低等。在過去的二十年中，MEMS技術有過很大的進步，但據調查顯示，目前還沒有將MEMS慣性沖擊器其應用于氣溶膠收集的先例。本文提出的MEMS過濾器著眼于實現安全殼內部微米范圍內氣溶膠的收集，無論在設計理念上還是技術上都是一次新的嘗試。
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