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微位移驅動器是一種能產生微米、亞微米甚至納米級位移的裝置，它在精密加工與測量中得到廣泛的應用。目前國內外研究比較深入的微位移驅動器按其工作原理有壓電陶瓷、液壓驅動等類型。隨著新型氣動執行元件的開發和現代控制理論的導人，氣動控制系統的控制性能得到了極大提高，使過去人們一直認為的氣動控制系統只能用于氣缸行程兩端控制，難于滿足對位置或力進行連續可調的高精度控制要求這一觀念徹底改變。氣動式微驅動器，相對于現有的機械式、壓電陶瓷式、液壓式微驅動器心，具有動作迅速、平穩、可靠、結構簡單、節能、工作壽命長的特點，還有易于控制、易維護、無環境污染等優點。
本研究采用理論分析、有限元仿真和實驗等方法對此微位移驅動器進行了結構設計并對其剛度、線性度、互耦性等性能進行了分析，驗證其作為微驅動器的優勢。
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