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電子發燒友網>電子資料下載>工控技術>半導體器件C-V特性測試說明

半導體器件C-V特性測試說明

2022-05-31 | docx | 0.63 MB | 次下載 | 1積分

資料介紹

交流 C-V 測試可以揭示材料的氧化層厚度,晶圓工藝的界面陷阱密度,摻雜濃度,摻雜分布以及載流子壽命等,通常使用交流 C-V 測試方式來評估新工藝,材料, 器件以及電路的質量和可靠性等。比如在 MOS 結構中, C-V 測試可以方便的確定二氧化硅層厚度 dox、襯底 摻雜濃度 N、氧化層中可動電荷面密度 Q1、和固定電 荷面密度 Qfc 等參數
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