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電子發燒友網>電子資料下載>模擬數字>用虛擬制造設計低壓功率VDMOS

用虛擬制造設計低壓功率VDMOS

2011-06-23 | pdf | 105 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

隨著高壓器件和功率器件需求的不斷發展,大功率VDMOS器件的特有作用正日益顯現出來。VDMOS主要應用在高電壓和大電流兩種情況,在一些特殊的需求方面亦具有不可替代的作用。本文用虛擬制造方法進行了低壓大電流VDMOS器件的設計。虛擬制造利用日益成熟的TCAD工具,通過工藝模擬得到虛擬器件結構,對虛擬器件進行模擬,合理選擇和調整制造工藝,選擇最佳工藝條件,達到設計需要的電學性能。

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