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一種絕緣柵雙極晶體管模塊在做反向偏置安全工作區(qū)測(cè)試時(shí)，器件在較低的關(guān)斷電流下就發(fā)生了損壞。失效分析顯示失效區(qū)的位置靠近柵極條區(qū)。模擬顯示失效區(qū)處元胞結(jié)構(gòu)并非對(duì)稱，而正常元胞結(jié)構(gòu)是對(duì)稱的，由此造成了該處元胞的問(wèn)鎖電流密度比對(duì)稱結(jié)構(gòu)元胞的問(wèn)鎖電流密度低。因此，元胞結(jié)構(gòu)的一致性不好是RBSOA關(guān)斷電流低的原因。通過(guò)修改版圖設(shè)計(jì)，使工作區(qū)元胞結(jié)構(gòu)一致。對(duì)改版后的芯片封裝后進(jìn)行RBSOA測(cè)試，結(jié)果顯示安全關(guān)斷電流有明顯提高。
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