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在深次微米半導(dǎo)體製程中，由于元件尺寸微縮，元件的靜電放電(ElectrostaticDischarge，ESD) 耐受度相對(duì)變差，因此靜電放電防護(hù)設(shè)計(jì)在IC 設(shè)計(jì)時(shí)即必需被加入考量 [1]。通常商用IC 的靜電放電耐受度必需通過(guò)人體放電模式(HumanBody Model, HBM) 2 kV 與機(jī)器放電模式(Machine Model, MM) 200 V 的測(cè)試[2]。為了能夠承受如此高電壓的靜電放電測(cè)試，IC 上的靜電放電防護(hù)元件常具有大元件尺寸的設(shè)計(jì)。為了盡可能節(jié)省晶粒面積，在佈局(layout)上，這種大尺寸的元件通常以指狀(multi-finger)的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)
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