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電子發燒友網>電子資料下載>電源技術>單晶硅太陽能電池結構與工藝仿真及其性能分析

單晶硅太陽能電池結構與工藝仿真及其性能分析

2017-09-21 | rar | 0.3 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  單晶 Si 太陽能電池一般有 p 型襯底上擴散 n型雜質和 n 型襯底上擴散 p 型雜質兩種。在 Silvaco工藝仿真環境Athena 下, 形成 pn 結太陽能電池的基本工藝流程。相關語句關鍵詞如圖 1 所示

  單晶硅太陽能電池結構與工藝仿真及其性能分析

  根據圖 1 所示的工藝流程, 本文選擇 p 型單晶Si 襯底, 襯底晶向為《 100》 , 襯底電阻率定義為1 ::cm, n 型摻雜濃度為1 : 1017/ cm3。設置器件厚度為150 :m, 長度為10 :m, 寬度選擇默認值1 :m,仿真得到結深約為0:35 :m的單晶 Si pn 結太陽能電池, 其結構示意圖如圖 2 所示
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