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CMEMS 技術是由領先的時序解決方案供應商Silicon Labs開發的一種創新的CMOS+MEMS制造工藝。CMEMS是CMOS首字母和MEMS（微機電系統）的縮寫。CMEMS技術提供了許多超越傳統振蕩器制造方法的好處，包括可擴展性、客戶可編程性、0天樣品生成以及長期的可靠性和性能。本白皮書將主要介紹CMEMS工藝技術、目前的混合振蕩器架構和Si501/2/3/4（Si50x）CMEMS振蕩器架構。其它相關的主題白皮書，可瀏覽網站：www.silabs.com/cmems。
晶體振蕩器簡介
每年30億美元的頻率控制市場已經由石英晶體和基于石英的振蕩器占據了幾十年，幾乎所有類型的電子設備都依賴一小片由機器加工的石英巖的發揮作用去生成至少一種可能的操作頻率。圖1顯示了傳統的基于石英的振蕩器及其組成。
圖1. 晶體振蕩器組成
在過去的幾十年里，石英制造業已經達到了新的成熟水平，它能夠提供更小、更薄和更高頻率的解決方案。雖然這些制造進步是重要且顯而易見的，但是就所需的工藝步驟來說，整個過程沒有發生太大變化。
制造工藝從一片空白的石英開始，它被切割、研磨、拋光、電鍍，然后進一步處理以獲得其所需的輸出頻率。在這一系列初始的大致步驟之后，工藝流程不斷改進石英晶體以滿足所需的規格。在每一個步驟中，各組成部件的產出都有可能受到影響。當石英晶體與硅放大器一起被密封在陶瓷封裝時，整個系統直到最終封裝完成后才能進行產量評估和性能測試。圖2展示了極其復雜的石英晶體制造工藝的頂層流程概況，它支持即使沒有上千種也有上百種針對目標系統特定頻率的獨特晶體形狀和切片。
圖2.晶體振蕩器生產步驟
CMEMS 技術是由領先的時序解決方案供應商Silicon Labs開發的一種創新的CMOS+MEMS制造工藝。CMEMS是CMOS首字母和MEMS（微機電系統）的縮寫。CMEMS技術提供了許多超越傳統振蕩器制造方法的好處，包括可擴展性、客戶可編程性、0天樣品生成以及長期的可靠性和性能。本白皮書將主要介紹CMEMS工藝技術、目前的混合振蕩器架構和Si501/2/3/4（Si50x）CMEMS振蕩器架構。其它相關的主題白皮書，可瀏覽網站：www.silabs.com/cmems。
晶體振蕩器簡介
每年30億美元的頻率控制市場已經由石英晶體和基于石英的振蕩器占據了幾十年，幾乎所有類型的電子設備都依賴一小片由機器加工的石英巖的發揮作用去生成至少一種可能的操作頻率。圖1顯示了傳統的基于石英的振蕩器及其組成。
圖1. 晶體振蕩器組成
在過去的幾十年里，石英制造業已經達到了新的成熟水平，它能夠提供更小、更薄和更高頻率的解決方案。雖然這些制造進步是重要且顯而易見的，但是就所需的工藝步驟來說，整個過程沒有發生太大變化。
制造工藝從一片空白的石英開始，它被切割、研磨、拋光、電鍍，然后進一步處理以獲得其所需的輸出頻率。在這一系列初始的大致步驟之后，工藝流程不斷改進石英晶體以滿足所需的規格。在每一個步驟中，各組成部件的產出都有可能受到影響。當石英晶體與硅放大器一起被密封在陶瓷封裝時，整個系統直到最終封裝完成后才能進行產量評估和性能測試。圖2展示了極其復雜的石英晶體制造工藝的頂層流程概況，它支持即使沒有上千種也有上百種針對目標系統特定頻率的獨特晶體形狀和切片。
圖2.晶體振蕩器生產步驟
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