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電子發燒友網>電子資料下載>嵌入式開發>具有RESURF的LDMOS器件設計

具有RESURF的LDMOS器件設計

2017-11-08 | rar | 1.11 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  LDMOS器件設計中,常采用RESURF技術來提高器件的性能。文中主要研究具有RESURF技術結構的LD-MOS器件,圍繞當獲得最優的器件結構時,其外延層單位面積雜質密度Ntot不是定值這一現象展開研究,給出了一種關于外延層單位面積雜質密度Ntot的近似解析表達式、,經過大量的模擬仿真及數據分析,發現在最優器件結構中均勻摻雜的外延層單位面積雜質密度Ntot與襯底摻雜濃度存在有規律的函數關系。最終,通過綜合分析影響器件的關鍵因素,得到了最優器件的外延層單位面積雜質密度Ntot與襯底摻雜濃度的關系函數。

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