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上接《淺談12吋晶圓集成電路芯片制程（工藝與工序）前端FEOL第一部分》
4 ）淺源漏（汲）極前端延伸區（LDD）。
4.1 柵極寬度不斷縮小，溝道長度不斷減小，增加了漏源間電荷穿通的幾率。溝道中電場強度增大，電子（空穴）在強電場中獲得高能量注入并陷落到柵氧化層介質中，引發出器件可靠性問題。采用LDD結構性能得到改進。見圖14.及附注。 LDD結構也減少了短溝道效應。
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