提出了一種具有深阱結(jié)構(gòu)的RF LDMOS，該結(jié)構(gòu)改善了表面電場分布，從而提高了器件的擊穿電壓。通過silvaco器件模擬軟件對(duì)該結(jié)構(gòu)進(jìn)行驗(yàn)證，并對(duì)器件的摻雜濃度、阱寬、阱深、柵長進(jìn)行優(yōu)化，結(jié)果表明，在保證LDMOS器件參數(shù)不變的條件下，采用深阱工藝可使其擊穿電壓提升50%以上。 LDMOS （Lateral Diffused MetalOxide Semiconductor Transistor，橫向擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體）以其高功率增益、高效率及低成本等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于移動(dòng)通信基站、雷達(dá)、導(dǎo)航等領(lǐng)域。射頻大功率LDMOS由于具有P、L波段以上的工作頻率和高的性價(jià)比，已成為3G手機(jī)基站射頻放大器的首選器件。隨著IC集成度的提高及器件特征尺寸的減小，柵氧化層厚度越來越薄，其柵的耐壓能力顯著下降，擊穿電壓是射頻LDMOS器件可靠性的一個(gè)重要參數(shù)，它不僅決定了其輸出功率，還決定了器件的耐壓能力，因此必須要采取措施以提高器件的擊穿電壓。本文將在基本LDMOS的基礎(chǔ)上，通過器件結(jié)構(gòu)的改進(jìn)來提高LDMOS的抗擊穿能力。

　　極近場EMI掃描技術(shù)

　　快速磁性極近場測(cè)量儀器可以捕獲和顯示頻譜和實(shí)時(shí)空間掃描結(jié)果的可視圖像。芯片廠商和PCB設(shè)計(jì)工程師可以掃描任何一塊電路板，并識(shí)別出50kHz至4GHz頻率范圍內(nèi)的恒定或時(shí)基的輻射源。這種掃描技術(shù)有助于快速解決廣泛的電磁設(shè)計(jì)問題，包括濾波、屏蔽、共模、電流分布、抗干擾性和寬帶噪聲。在任何新PCB的開發(fā)過程中，設(shè)計(jì)工程師都必須找出設(shè)計(jì)之外的輻射體或射頻泄漏，并對(duì)其進(jìn)行描述和處理以通過一致性測(cè)試。可能的輻射體包括高速、大功率器件以及具有高密度或高復(fù)雜度的器件。掃描系統(tǒng)以疊加在Gerber文件上的形式顯示空間輻射特性，因此測(cè)試人員可以準(zhǔn)確地找出所有輻射問題的來源。設(shè)計(jì)工程師可以在采取了相應(yīng)的解決措施之后，對(duì)器件進(jìn)行重新測(cè)試并立即量化出校正設(shè)計(jì)后的效果。掃描系統(tǒng)由一個(gè)掃描儀、小型適配器、一個(gè)客戶提供的頻譜分析儀和運(yùn)行掃描系統(tǒng)軟件的PC組成。臺(tái)式掃描儀包括 2，436條回路，可產(chǎn)生1，218個(gè)間隔為7.5mm的磁場探針，形成一個(gè)電子開關(guān)陣列并提供高達(dá)3.75mm的分辨率。系統(tǒng)工作頻率范圍為50kHz至4GHz，通過可選的軟件密鑰啟用。這樣，用戶就可以自行對(duì)設(shè)計(jì)進(jìn)行測(cè)試，而不必依賴另外一個(gè)部門、測(cè)試工程師或進(jìn)行耗時(shí)的場外測(cè)試。工程師甚至可以在診斷一個(gè)間歇故障之后，對(duì)設(shè)計(jì)進(jìn)行更改，很快再進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試的結(jié)果可以對(duì)設(shè)計(jì)更改的影響進(jìn)行精確的驗(yàn)證。借助掃描系統(tǒng)，電路板設(shè)計(jì)工程師可以預(yù)先測(cè)試和解決電磁兼容問題，從而避免產(chǎn)生非預(yù)期的一致性測(cè)試結(jié)果。掃描儀的診斷功能可以幫助設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)將輻射測(cè)試時(shí)間縮短兩個(gè)數(shù)量級(jí)以上。

　　汽車廠商往往采用最新的消費(fèi)電子系統(tǒng)來體現(xiàn)與其他廠商汽車的差異化，該系統(tǒng)必須在各種苛刻的條件下都能正常工作。動(dòng)力系統(tǒng)、安全系統(tǒng)和其它汽車控制系統(tǒng)也都有同樣的要求，一旦出現(xiàn)故障，這些系統(tǒng)會(huì)導(dǎo)致更加嚴(yán)重的后果。汽車電子系統(tǒng)對(duì)于供應(yīng)商提供的芯片和印制電路板的電磁輻射特別敏感。因此，SAE（原汽車工程師協(xié)會(huì)）已經(jīng)定義測(cè)試規(guī)范并建立滿足電磁兼容（EMC）和電磁干擾（EMI）的需求，并對(duì)其進(jìn)行了不斷的完善。采用極近場EM掃描技術(shù)，供應(yīng)商的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)可以通過一個(gè)桌面系統(tǒng)來計(jì)量并立即顯示輻射的空間和頻譜特性，避免以后在更高費(fèi)用的模塊、系統(tǒng)或整車級(jí)測(cè)試中出現(xiàn)問題。本文討論幾個(gè)能夠展示這種測(cè)試價(jià)值的例子。第一個(gè)例子是關(guān)于“擴(kuò)頻時(shí)鐘發(fā)生器（SSCG）”的輻射特性，分別在“關(guān)”和“開”的狀況下對(duì)其掃描。在第二個(gè)例子中，設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)對(duì)比了第二代半雙工串行解串器（串行器/解串器）系統(tǒng)與第三代全雙工系統(tǒng)。結(jié)果驗(yàn)證了新一代功能及其優(yōu)勢(shì)，不但幫助客戶縮短了產(chǎn)品上市時(shí)間，并在客戶中產(chǎn)生了積極的影響。
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