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微小差分電容檢測電路設(shè)計(jì)

2010-04-30 | rar | 142 | 次下載 | 5積分

資料介紹

摘要:針對電容MEMS器件,設(shè)計(jì)了一種用來檢測微小差分電容的電路,該電路主要有方波信號發(fā)生器、相敏解調(diào)和低通濾波電路等組成.具有抗干擾性能好、電路簡單、易于集成的特點(diǎn).通過主要器件——運(yùn)放的合理選擇,調(diào)試出較理想的結(jié)果.經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,其分辨率可達(dá)10的負(fù)16次方F.
關(guān)鍵詞:差分電容;充放電;相敏解調(diào)
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