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電子發燒友網>電子資料下載>電子元器件應用>RTD與PHEMT集成的關鍵工藝

RTD與PHEMT集成的關鍵工藝

2011-06-24 | pdf | 144 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

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在新型的共振隧穿二極管(RTD)器件與PHEMT器件單片集成材料結構上,研究和分析了分立器件的制作工藝,給出了分立器件的制作工藝參數.利用上述工藝成功制作了RTD和PHEMT器件,并在室溫下分別測試了RTD器件和PHEMT器件的電學特性.測試表明:在室溫下,RTD器件的峰電流密度與谷電流密度之比提高到1.78;PHEMT器件的最大跨導約為120mS/mm,在Vgs=0.5V時的飽和電流約為270mA/mm.這將為RTD集成電路的研制奠定工藝基礎.
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