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采用0113μm CMOS 射頻和混合信號工藝進行了射頻nMOS 場效應晶體管版圖的優化設計和芯片制作.對制作的射頻nMOS 器件進行了直流特性和S 參數測試, 測試結果表明射頻nMOS 管的特征頻率f T 達到了93GHz , f max超過了90GHz . 采用小信號等效電路模型對該nMOS 管的交流特性進行了模擬. 在100MHz 到30GHz 頻率范圍內得到了與測試結果相吻合的仿真結果.
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