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很多通信系統發展到某種程度都會有小型化的趨勢。一方面小型化可以讓系統更加輕便和有效，另一方面，日益發展的IC制造技術可以用更低的成本生產出大批量的小型產品。 MEMS（MicroElectromechanical System）是這種小型產品的相關技術之一。MEMS可以檢測環境的變化并通過微型電路產生相關反應。MEMS的主要部分包括sensor（微傳感器）或actuator（微執行器）和transducer（轉換裝置），其中sensor可以檢測某種物理，化學或生物的存在或強度，比如溫度，壓力，聲音或化學成分，transducer會把一種energy轉換成另外一種（比如從電信號到機械波）。
目前MEMS被廣泛的利用在多個領域里。
這篇文章主要說說MEMS的幾種RF相關應用產品SAW，BAW， FBAR filter，也是目前手機中最常用的幾種filter。 SAW，BAW和FBAR中，A都代表著Acoustic。Acoustic wave中文翻譯成聲波，聲波按頻率分成3段，audio， infrasonic（次聲波） 和ultrasonic（超聲波）。 Audio的頻率為20Hz ~ 20KHz， 是人耳能聽見的范圍。 Infrasonic（次聲波）是低頻率，20Hz一下，人耳聽不到，可以用來研究地理現象（比如地震）。 Ultrasonic（超聲波）是20KHz到10 9KHz，也是人耳聽不到的范圍。下面提到的聲波都是超聲波的范圍，首先我們看看SAW filter。
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