早在1855年，瑞利（Lord Rayleigh）就從數學的角度發現了彈性表面波（SAW ：Surface Acoustic Wave）的存在。1965 年，懷特（White）和沃爾特默（Voltmer）聯合發明了叉指式換能器（IDT：Inter Digital Transducer），從而取得了表面波在濾波器應用技術上的關鍵性突破。首先在TV的IF波段上將LC濾波器更換為SAW濾波器，此外，在雷達信號處理方面，開始使用SAW設備。在發明了IDT之后的短短12年后，威廉姆森（Williamson）于1977年發表了45種SAW設備的開發產品實際應用清單（Proc.1977 IEEE Ultrasonic Symposium pp.460-468）其中，不但闡述了其優越的特性，同時也介紹了已被廣泛應用的 TV用IF濾波器、CATV濾波器、雷達用脈沖壓縮機等10多種設備。之后，SAW設備的應用范圍不斷擴大，作為一種通訊工具在無繩電話及pager上得到應用，現在的手機等通訊系統大多也都采用了該設備。此外，在影像系統的衛星轉播調諧器上也采用了該設備，同時，面向數字地面電視的其他移動通訊介質，隨著數字播放及衛星數字廣播、社會基礎設施的不斷變遷，在使用范圍逐漸擴大的同時，SAW設備也得到了更廣泛的應用。GPS用濾波器在汽車導航裝置、遠程信息處理及手機上也得到應用，同時，隨著在無線遙控門鎖及輪胎氣壓監控系統等車載用途等方面、以及通信功能的各種應用程序方面的應用不斷深入，相信不久的將來勢必會在更多類型的設備上得到應用。薄膜體聲波諧振器（FBAR：Film Bulk Acoustic Resonator）發表于1980年，而真正開始應用則是在1999年Ruby等人發表了 PCS Duplexer之后。

　　如果將小石子扔進水池，濺起的水波就會傳播到周圍水面呢！如果敲擊桌面，也會感覺到桌面的振動傳到了敲擊部位的周圍。在自由表面的彈性介質上，局部表面都有一種傳播波存在。這種傳播波就是彈性表面波。而在地震時，在最初從地下傳來的P 波、S波之后，沿著地表傳播振動的波就會隨之而來。這種波就相當于彈性表面波。彈性表面波設備使用沿著壓電材料表面傳播的彈性表面波。之所以要使用壓電材料，是因為需要將電信號轉換為彈性表面波。如果從外部施加電場，壓電材料則會發生形變。因此，在壓電線路板表面形成一種被稱為叉指式換能器的梳齒狀電極（以下稱 IDT ：Inter Digital Transducer），這時如果向它發出信號就可以產生一種波。在壓電線路板表面形成的波的速度、聲速基本都是由線路板及波的種類所決定，通過更改這種梳齒的間距，可以改變激勵波的頻率。同時，在SAW到達IDT后，若該SAW 與IDT的間距相符，那么就會在IDT的電極間產生電信號。