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電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>MEMS陀螺儀的工作原理詳細概述

MEMS陀螺儀的工作原理詳細概述

2020-12-30 | pdf | 0.27 MB | 次下載 | 5積分

資料介紹

  陀螺儀是用來測量角速率的器件,在加速度功能基礎上,可以進一步發展,構建陀螺儀。陀螺儀的內部原理是這樣的:對固定指施加電壓,并交替改變電壓,讓一個質量塊做振蕩式來回運動,當旋轉時,會產生科里奧利加速度,此時就可以對其進行測量;這有點類似于加速度計,解碼方法大致相同,都會用到放大器

  角速率由科氏加速度測量結果決定 - 科氏加速度 = 2 × (w × 質量塊速度) - w 是施加的角速率(w = 2 πf) 通過 14 kHz 共振結構施加的速度(周期性運動)快速耦合到加速度計框架 - 科氏加速度與諧振器具有相同的頻率和相位,因此可以抵消低速外部振動該機械系統的結構與加速度計相似(微加工多晶硅)信號調理(電壓轉換偏移)采用與加速度計類似的技術施加變化的電壓來回移動器件,此時器件只有水平運動沒有垂直運動。如果施加旋轉,可以看到器件會上下移動,外部指將感知該運動,從而就能拾取到與旋轉相關的信號。

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