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SiC碳化硅功率半導體器件具有耐壓高、熱穩定好、開關損耗低、功率密度高等特點，被廣泛應用在電動汽車、風能發 電、光伏發電等新能源領域。 近年來，全球半導體功率器件的制造環節以較快速度向我國轉移。目前,我國已經成為全球最重要的半導體功率器件封測 基地。 目前常用的SiC碳化硅功率半導體器件主要包括：碳化sbd(schottkybarrierdiode，肖特基二極管)與碳化硅mosfet(metal-oxidesemiconductor field-effect transistor，金屬氧化物半導體場效應管)，其中碳化硅mosfet器件屬于單級器件，開通關斷速度較快，對 柵極可靠性提出了更高的要求，而由于碳化硅材料的物理特性，導致柵級結構中的柵氧層缺陷數量較多，致使碳化硅mosfet器 件柵極早期失效率相比硅mosfet器件較高，限制了其商業化發展。為提高碳化硅mosfet器件柵級工作壽命，需要對碳化硅功率半 導體器件進行基于柵極的測試，在將碳化硅功率半導體器件壽命較低的器件篩選出來，提高碳化硅功率半導體器件的使用壽 命。
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