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      電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>PVT法碳化硅SIC單晶生長工藝真空壓力控制裝置的解決方案

      PVT法碳化硅SIC單晶生長工藝真空壓力控制裝置的解決方案

      2023-02-20 | pdf | 0.73 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

       摘要：本文針對目前PVT法SiC單晶生長過程中真空壓力控制存在的問題，進行了詳細的技術分析，提出了相應的解放方案。解決方案的核心方法是采用上游和下游同時控制方式來大幅提高全壓力范圍內的控制精度和穩定性，關鍵裝置是低漏率和高響應速度的電動針閥、電動球閥和超高精度的工業用PID控制器。通過此解決方案可實現對相應進口產品的替代。
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