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      電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>GaN基準垂直肖特基功率二極管(SBD)的設計與制備

      GaN基準垂直肖特基功率二極管(SBD)的設計與制備

      2023-02-27 | pdf | 0.36 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      依托先進的半導體器件仿真設計平臺，天津賽米卡爾科技有限公司技術團隊實現了擊穿電壓為420 V的GaN基準垂直肖特基功率二極管的設計方案（SFP-SBD：具有側壁場板的GaN 基準垂直肖特基功率二極管），并在藍寶石襯底上制備了該器件結構。技術團隊對所制備的器件進行了電流-電壓測試[圖1(a)]，通過在器件側壁及臺面邊緣處制備場板結構，有效降 低了臺面邊緣處的電勢及電流密度[圖1(b)和(c)]，從而抑制了因刻蝕工藝導致的側壁缺陷對載流子的復合效應。
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