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SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)【半導(dǎo)體設(shè)備材料國際聯(lián)盟】制定了半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)接口SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard【半導(dǎo)體設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)】). 讓CIM與設(shè)備間有通用的通訊標(biāo)準(zhǔn)接口，設(shè)備制造商只要提供符合通訊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的設(shè)備，便可快速地整合在CIM的管理系統(tǒng)
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