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GaN基藍光半導(dǎo)體激光器的發(fā)展

2023-10-31 | pdf | 0.34 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

摘要:文章介紹了下一代光存儲用半導(dǎo)體激光器——GaN藍光激光器的發(fā)展?fàn)顩r.對襯底材料的發(fā)展現(xiàn)狀、外延片的生長技術(shù)以及激光器的制作工藝都作了論述.闡明了GaN激光器的一些技術(shù)路線,如GaN同質(zhì)生長襯底的發(fā)展,側(cè)向外延生長技術(shù)的采用以及濕法腐蝕腔面等.另外還介紹了GaN半導(dǎo)體激光器數(shù)字多功能光盤(DVD)的實用化進程.
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