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VT6000共聚焦顯微鏡，搭配50×、100×高數(shù)值孔徑的APO復(fù)消色差物鏡。在測量時由于其基于鏡頭焦深的原理不會受到樣件本身輕微抖動的影響，同時高倍APO物鏡所具有的大角度測量能力搭配儀器自身納米級的掃描分辨率，能夠輕松實現(xiàn)透明表面微結(jié)構(gòu)的3D圖像重建和輪廓尺寸的高精度測量，在下述視頻中可直觀的了解光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)的測量過程。
共聚焦顯微鏡能夠?qū)鈱W(xué)膜表面微結(jié)構(gòu)實現(xiàn)快速自動化測量，并提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數(shù)對表面質(zhì)量進(jìn)行表征，幫助客戶實現(xiàn)光學(xué)膜片表面質(zhì)量的檢測與管控。
如下圖所示，在實現(xiàn)表面微結(jié)構(gòu)3D圖像的高精度重建與測量的同時，共聚焦顯微鏡以其明顯優(yōu)于金相顯微鏡的橫向分辨率，也能夠提供表面微結(jié)構(gòu)的清晰影像圖片，幫助更細(xì)致的觀察微結(jié)構(gòu)的表面特征，從圖像可知，在高倍率鏡頭下，棱鏡峰側(cè)壁的刀具磨損紋路痕跡明顯，金字塔頂和底部界限分明，微透鏡表面粒子邊緣清晰。
隨著液晶顯示屏在朝著輕薄化、高清化的方向發(fā)展，其核心材料光學(xué)膜片也在往薄型化、高亮度化、高色域化的方向發(fā)展，屆時其表面微結(jié)構(gòu)的特征尺寸也將更加多樣化和小型化，這勢必將對測量儀器提出更高的要求。中圖儀器，將不斷迭代最新的光學(xué)測量技術(shù)，不斷提升VT6000共聚焦顯微鏡的產(chǎn)品性能，始終滿足客戶的測量要求，為客戶提供產(chǎn)品方案和服務(wù)。
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