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電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>基于AT89S52的靜電探針自動測量系統

基于AT89S52的靜電探針自動測量系統

2023-11-06 | pdf | 270.49KB | 次下載 | 免費

資料介紹

簡介:靜電探針又稱langrnuir 探針,是一種用來進行等離子體參數測量的基本的診斷工具,通過靜電探針的,I-V 特性曲線可以計算出等離子體的電子溫度、密度、空間電位和懸浮電位等重要參數。靜電探針,I-V 特性曲線如圖1 所示。目前,隨著等離子體在對金屬、微電子、聚合物改性,聚合、生物功能材料相容性處理,低溫殺毒以及空間技術等諸多領域的廣泛應用。開展靜電探針自動測量技術的研究開發工作,對提高等離子體應用研究工作的效率具有一定的促進作用。本文介紹的自動測量系統是以單片機為核心,采用A/D 和D/A 技術,能夠快速、準確地給出靜電探針I-V 特性曲線。
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