接觸Silvaco TCAD仿真軟件已經(jīng)有很長時間了，這期間還熟悉了一下ISE TCAD。學習的過程中，老師、師兄姐和同學給了我極大的幫助。這本書的主旨就是希望提供-些對于Silvaco仿真的可資借鑒的經(jīng)驗。學習和使用Silvaco的時候各人的視角會不一樣，雖然這本書只是介紹一些常用的仿真，例句也有限，但因為流程控制和語法都有相通的地方，完全可以參照本書和手冊的說明靈活地建立仿真以及仿真--些本書未提及的特性。

　　寫本書的另-個動力是想體驗- 下ITEX在排版書籍上和word的不同。經(jīng)過這次編排覺得各有優(yōu)缺點。MIEX對排圖片和表格這些浮動元素很費力。我在排此書的時候經(jīng)常遇到圖片和表格按照自動方式排的位置很差，和文字內容脫節(jié)很遠，為此不得不處理圖片，有時還將表格拆開等。如果各位遇到很脫節(jié)的地方還請見諒。MTEX的使用需要有很強的耐心和探索精神，也可以說是犧牲精神。不管是MS Ofice還是ETEX，總的目的是想內容通順，閱讀起來舒服，用什么工具就是“八仙過海，各顯神通”了。

　　第一章仿真準備

　　這一章主要介紹TCAD的基本概念，DeckBuild的 主要組件以及DeckBuild的命令（extract，go，set和tonyplot），Silvaco文檔的分 布和學習方法等。

　　1.1 認識Silvaco TCAD

　　TCAD就是Technology Computer Aided Design，指半導體工藝模擬以及器件模擬工具，世界上商用的TCAD工具有Silvaco公司的Athena和Atlas， Synopsys公 司的TSupprem和Medici以及ISE公司（已經(jīng)被Synopsys公司收購）的Dios和Dessis。 Synopsys 公司最新發(fā)布的TCAD工具命名為Sentaurus。

　　1.1.1數(shù)值計算

　　計算機仿 真必須基于數(shù)值計算。Silvaco中 的數(shù)值計算是基于一系列的物理模型及其方程的，而方程中的某些量又用其他的方程來描述。然而實際的物理系統(tǒng)非常復雜，信息量也非常巨大，必須將其離散化，那么自然地半導體仿真應用上就基于網(wǎng)格計算。

　　網(wǎng)格計算：將半導體仿真區(qū)域劃分成網(wǎng)格，在網(wǎng)格點處計算出希望得到的特性（如：電學性質，光學性質，工藝步驟的速率等等）。

　　數(shù)值計算必須考慮的問題：

　　●精確性（和網(wǎng)格密度、計算的步長疏密、算法和物理模型的選擇等有關）

　　●計算速度（ 和網(wǎng)格密度、計算步長的疏密以及算法等有關）

　　●收斂性（和計算步長的疏密、初始值以及算法有關）

　　仿真計算時參數(shù)設置上需要在精確性、計算速度和收斂性之間取得折衷。網(wǎng)格點的密度和計算的精確度有關，但Silvaco中 的網(wǎng)格點總數(shù)是有限制的。請注意，網(wǎng)格點太多導致信息量太大，在仿真時會報錯。