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5nm及更先進(jìn)節(jié)點(diǎn)上FinFET的未來(lái):使用工藝和電路仿真來(lái)預(yù)測(cè)

2022-05-27 | docx | 0.63 MB | 次下載 | 3積分

資料介紹

雖然柵極間距(GP)和鰭片間距(FP)的微縮持續(xù)為FinFET平臺(tái)帶來(lái)更高的性能和更低的功耗,但在5nm及更先進(jìn)節(jié)點(diǎn)上,兼顧寄生電容電阻的控制和實(shí)現(xiàn)更高的晶體管性能變得更具挑戰(zhàn)。

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