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鍍膜講義(馬里蘭大學)

2011-03-24 | pdf | 565 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

Surface micromachining =
thin film micromachining
(MCNC MUMPS process) (Analog Devices ADXL50)
Successive depositions + lithography + etching
Sacrificial release etch
Similar technology to VLSI fabrication in many ways

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