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加速度計在很多市場中都有著重要的作用。智能手機中會用到加速度計，汽車中也會用到加速度計。這一器件在醫療中的應用也是與日俱增。測量速度的變化率似乎可以有無限的應用。因此，根據 Yole Développement 公司“2015 年 MEMS 行業狀態報告”顯示，MEMS 加速度計去年總計發貨超過 20 億臺并不足為奇。有很多設計技術可用來創建加速度計。其中一種常用的技術是制造具有彈簧懸掛質量塊的 MEMS 器件（圖 1）。發生加速時，質量塊將會產生移動進而縮短固定齒和可動齒之間的間隙，電容也相應地發生變化。由于固定齒上加有電壓，當質量塊移動時，可動齒會由于電容的變化產生電壓。測量該電壓即可確定加速度。然而，可動部件會受到以下情況的影響：粘滯（兩個緊密相鄰的表面，如梳齒，彼此粘附）、振動產生的誤差以及沖擊 （g-force） 導致的可動部件的斷裂。
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