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導模共振濾波器由于其高峰值反射率，低旁帶反射，窄帶以及帶寬可控等優(yōu)良特性引起了人們極大的關注，采用亞波長光柵的導模共振效應可以實現(xiàn)傳統(tǒng)基于高低折射率介質(zhì)的多層膜濾波器所無法實現(xiàn)的特殊功能，在弱調(diào)制模式下，其共振帶寬可以被壓縮到零點幾納米，但是由于介質(zhì)表面和空氣層的菲涅耳反射，使得偏離或者遠離共振區(qū)時的反射率偏高，根據(jù)等效介質(zhì)理論，亞波長光柵在遠離共振區(qū)可以被看為均勻的薄膜，本文通過對導模共振光柵進行單層、雙層以及三層抗反射設計，有效的降低了導模共振光柵的旁帶反射率，從而在可見光波段獲得了性能優(yōu)良的共振濾波器+
關鍵詞：導模共振，平面波導，傅里葉模式理論，窄帶濾波
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