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8～12 英寸先進封裝技術專用勻膠設備
沈陽芯源微電子設備有限公司
沈陽芯源微電子設備有限公司研制的8～12 英寸先進封裝技術專用勻膠設備獲得“2007
年中國半導體創新產品和技術”獎，其中12 英寸（×300mm）晶圓先進封裝設備，于2007年7 月在我國五大先進封裝測試廠之一的江陰長電先進封裝有限公司通過嚴格的工藝檢測驗收，成功投入生產使用。實現了國產首臺IC 裝備在晶圓尺寸和新工藝應用上的重大突破。由中科院沈陽自動化所投資興辦的沈陽芯源微電子設備有限公司是躋身于集成電路裝
備行業的后起之秀。公司成立于2002 年底，幾年來，通過廣泛的國際合作加快了自主知識產權的IC 裝備研發進程，目前已申請與技術產品相關技術專利45 項，其中發明專利19 項，已授權實用新型專利11 項、軟件著作權1 項。芯源公司在引進國際先進技術基礎上，消化吸收，創新提高，在勻膠顯影整體技術和單元技術創新改進方面取得了多項關鍵技術突破，成功實現了技術的跨越式發展,使我國在集成電路制造領域的勻膠顯影技術提升了三個產品代，與國際最先進技術的差距縮短了15 年。
沈陽芯源微電子設備有限公司
沈陽芯源微電子設備有限公司研制的8～12 英寸先進封裝技術專用勻膠設備獲得“2007
年中國半導體創新產品和技術”獎，其中12 英寸（×300mm）晶圓先進封裝設備，于2007年7 月在我國五大先進封裝測試廠之一的江陰長電先進封裝有限公司通過嚴格的工藝檢測驗收，成功投入生產使用。實現了國產首臺IC 裝備在晶圓尺寸和新工藝應用上的重大突破。由中科院沈陽自動化所投資興辦的沈陽芯源微電子設備有限公司是躋身于集成電路裝
備行業的后起之秀。公司成立于2002 年底，幾年來，通過廣泛的國際合作加快了自主知識產權的IC 裝備研發進程，目前已申請與技術產品相關技術專利45 項，其中發明專利19 項，已授權實用新型專利11 項、軟件著作權1 項。芯源公司在引進國際先進技術基礎上，消化吸收，創新提高，在勻膠顯影整體技術和單元技術創新改進方面取得了多項關鍵技術突破，成功實現了技術的跨越式發展,使我國在集成電路制造領域的勻膠顯影技術提升了三個產品代，與國際最先進技術的差距縮短了15 年。
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