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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>深亞微米ESD保護器件GGNMOS性能分析與設計

深亞微米ESD保護器件GGNMOS性能分析與設計

2009-12-14 | rar | 344 | 次下載 | 5積分

資料介紹

本文采用 MEDICI 作為集成電路ESD 保護常用器件—柵極接地N 型MOS 管
(GGNMOS)ESD 性能分析的仿真工具,綜合分析了各種對GGNMOS 的ESD 性能有
影響的因素,如襯底摻雜、柵長、接觸孔距離等,為深亞微米下ESD 保護器件GGNMOS
的設計提供了依據。通過分析發現襯底接觸孔到柵極距離對GGNMOS 器件ESD 性能也
有一定影響,此前,對這一因素的討論較少。最后,根據分析結果,給出了一個符合
ESD 性能要求的器件設計。
關鍵詞ESD,MEDICI,深亞微米GGNMOS
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