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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>用直接隧道柵電流在線表征PMOSFET負偏壓溫度不穩定性

用直接隧道柵電流在線表征PMOSFET負偏壓溫度不穩定性

2009-12-15 | rar | 344 | 次下載 | 3積分

資料介紹

用直接隧道柵電流在線表征PMOSFET 負偏壓溫度不穩定性
賈高升許銘真
(北京大學微電子所 100871)
摘要
本文提出了一種在線表征負偏壓溫度不穩定性(NBTI,negative bias temperature
instability)退化的方法——直接隧道柵電流表征法(DTGCM,DT Gate Current Method)。用這種方法可以得到NBTI 應力誘生在超薄柵氧化層中的缺陷密度(包括氧化層體陷阱密度和界面態密度),并得到PMOSFET器件閾值電壓的漂移(ΔVth)信息。這種方法可以有效避免NBTI 恢復效應的影響。
關鍵詞 超薄柵氧化層,PMOSFET, 負偏壓溫度不穩定性(NBTI), 退化, 恢復效應
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