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半導體設備的可靠性、維修性和可用性
北京七星華創電子公司 董大為
當今在半導體設備采購中,需方( Purchaser )除關注設備的性能和工藝保證性指標 (Guaranteed Specifications)外,還普遍關注設備的可靠性 (Reliability)、維修性 (Maintainability)和可用性 (Availability).可靠性在國標GB/T 3187－94 中被定義為:產品在規定的條件下和規定的時間區間內完成規定功能的能力,它常用平均失效間隔時間MTBF (Mean Time Between Failures)來表示,MTBF 是指失效間隔時間的期望。.維修性在上述國標中被定義為:在規定的條件下并按規定的程序和手段實施維修時,產品在規定的使用條下,保持或恢復能執行規定功能狀態的能力,它常用平均修復時間MTTR (Mean Time To Repair)來表示,MTTR是指修復前時間的期望。可用性在上述國標中被定義為：在要求的外部資源得到保證的前提下,產品在規定的條件下和規定的時刻或時間區間內處于可執行規定功能狀態的能力，它常用設備能工作時間 (Up Time)或可用時間%來表示。可用時間是指產品處于可用狀態的時間區間。可用性是產品可靠性,維修性和維修保障性的綜合反映,它與技術、管理、供方(Supplier)和使用方(User)都有關.因此,要作為一項考核指標，應進行合理的界定。SEMI E10－0304 用設備在生產中占用的時間來確定并計算設備的可靠性、維修性和可用性,成為需方和供方統一的、可操作的技術指標。SEMI E10－0304 把設備所處的時間分成六類見下圖：
北京七星華創電子公司 董大為
當今在半導體設備采購中,需方( Purchaser )除關注設備的性能和工藝保證性指標 (Guaranteed Specifications)外,還普遍關注設備的可靠性 (Reliability)、維修性 (Maintainability)和可用性 (Availability).可靠性在國標GB/T 3187－94 中被定義為:產品在規定的條件下和規定的時間區間內完成規定功能的能力,它常用平均失效間隔時間MTBF (Mean Time Between Failures)來表示,MTBF 是指失效間隔時間的期望。.維修性在上述國標中被定義為:在規定的條件下并按規定的程序和手段實施維修時,產品在規定的使用條下,保持或恢復能執行規定功能狀態的能力,它常用平均修復時間MTTR (Mean Time To Repair)來表示,MTTR是指修復前時間的期望。可用性在上述國標中被定義為：在要求的外部資源得到保證的前提下,產品在規定的條件下和規定的時刻或時間區間內處于可執行規定功能狀態的能力，它常用設備能工作時間 (Up Time)或可用時間%來表示。可用時間是指產品處于可用狀態的時間區間。可用性是產品可靠性,維修性和維修保障性的綜合反映,它與技術、管理、供方(Supplier)和使用方(User)都有關.因此,要作為一項考核指標，應進行合理的界定。SEMI E10－0304 用設備在生產中占用的時間來確定并計算設備的可靠性、維修性和可用性,成為需方和供方統一的、可操作的技術指標。SEMI E10－0304 把設備所處的時間分成六類見下圖：
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