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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>熱處理技術應對新工藝新材料的挑戰

熱處理技術應對新工藝新材料的挑戰

2009-12-21 | rar | 223 | 次下載 | 3積分

資料介紹

熱處理工藝正面臨來自高k和其它材料、超淺接合、應變硅、SOI,以及不斷微縮生產更高效率和更加復雜的器件所帶來的挑戰。盡管我們在技術開發中盡量避免使用新材料,但是當現有工藝即將達到其物理極限時,我們不得不重新評估選擇使用一些新材料。
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