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Litho-Friendly Design 解決方案的基本概念:事實(shí)上，可制造性設(shè)計(jì)并不完全是一個(gè)新的概念。設(shè)計(jì)規(guī)則檢查(DesignRule Check)被認(rèn)為是最早期的可制造性設(shè)計(jì)的一種方式。如果能夠通過設(shè)計(jì)規(guī)則檢查， 那么這樣的芯片版圖被認(rèn)為是得到了可以被生產(chǎn)的要求。盡管設(shè)計(jì)規(guī)則檢查仍然在被廣泛的應(yīng)用，但是隨著技術(shù)節(jié)點(diǎn)的進(jìn)步，越來越多的復(fù)雜效應(yīng)無
法被這樣基于規(guī)則的方法所涵蓋。這是因?yàn)樵O(shè)計(jì)規(guī)則并不能反映出制造工藝流程
的可控制范圍內(nèi)的變化起伏以及器件的電學(xué)性能、產(chǎn)品良率對(duì)于這種變化起伏響
應(yīng)敏感程度。
法被這樣基于規(guī)則的方法所涵蓋。這是因?yàn)樵O(shè)計(jì)規(guī)則并不能反映出制造工藝流程
的可控制范圍內(nèi)的變化起伏以及器件的電學(xué)性能、產(chǎn)品良率對(duì)于這種變化起伏響
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