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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>半導體封裝劃片工藝及優化

半導體封裝劃片工藝及優化

2011-02-17 | rar | 1.53 MB | 次下載 | 10積分

資料介紹

  因為硅材料的脆性,機械切割方式會對晶圓的正面和背面產生機械應力,結果在芯片的邊緣產生正面崩角(FSC- Front Side Chipping)及背面崩角(BSC-Back Side Chipping)。正面崩角和背面崩角會降低芯片的機械強度,初始的芯片邊緣裂隙在后續的封裝工藝中或在產品的使用中會進一步擴散,從而可能引起芯片斷裂,導致電性失效。另外,如果崩角進入了用于保護芯片內部電路、防止劃片損的密封環(Seal Ring)內部時,芯片的電氣性能和可靠性都會受到影響。


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