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國內外半導體設備技術與市場

2011-10-31 | pdf | 56 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

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概述了國內外半導體設備技術動態(tài), 介紹了光刻技術、CMP 技術、膜生長技術、刻蝕技術、離子注入技術、清洗技術及封裝技術的發(fā)展現狀和技術趨勢, 預測了全球半導體制造設備未來市場變化, 并提出了國產半導體設備技術創(chuàng)新的途徑。
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