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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>半導(dǎo)體技術(shù)論文>3D IC集成與硅通孔TSV互連

      3D IC集成與硅通孔TSV互連

      2011-12-07 | pdf | 597 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      重點(diǎn)討論了垂直互連的硅通孔(TSV)互連工藝的關(guān)鍵技術(shù)及其加工設(shè)備面臨的挑戰(zhàn)．提出了工藝和設(shè)備開發(fā)商的應(yīng)對措施并探討了3DTSV封裝技術(shù)的應(yīng)用前景。

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