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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>紅外發光顯微鏡在集成電路失效分析中的應用

紅外發光顯微鏡在集成電路失效分析中的應用

2012-03-15 | rar | 941 KB | 次下載 | 5積分

資料介紹

本文介紹了半導體的發光機理,紅外發光顯微鏡的基本結構、主要部件及技術特點。通過對兩個IC失效樣品的分析實例,介紹紅外發光顯微鏡及其補充技術——激光束誘導電阻率變化測試技術在IC失效分析中的具體應用。
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